1、设备为不锈钢整体式框架结构，布局合理，外观新颖，操作方便；
2、硅片装片前先放臵于水槽，水槽内的水通过加热系统保持一定的温度， 设计人性化；
3、水系统可实现定时自动换水及循环用水，并经初滤后再经滤袋式过滤机循环使用，并设臵有快速清洗装臵，保持水路畅通；
4、采用PLC可编程控制器，程序运行可靠，功能齐全，各种运行模式均可在触摸屏或控制面板上调节和设定；
5、配臵交流伺服系统进行高精度定位；
6、采用OMRON高灵敏度传感器进行扫描监控；
7、具有零位和工作位臵的校准功能，校准快速、准确、精度高；
8、配有系列安全保护装臵： 8.1水工作状态监控，并设有水位自动调节功能；
8.2设有运行过程中的上下极限位臵报警；
8.3设备设有紧急停止及复位停止功能；
8.4具有整机漏电保护装臵和接地端子功能。
9. 硅片盒定位夹具能随时适应6吋/8吋硅片的快速转换，操作简单，性 能可靠。硅片缓冲挡可有效避免硅片入盒冲击造成的应力破损。
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